针对切割线张力控制线问题,探讨专业多线切割机走线过程中影响线张力的各种因素,提出一种机电一体化的张力控制策略,该方法用转矩电动机代替张力锤施加张力,这种张力控制方法与传统的控制方法相比能极大地降低线张力波动的强度。理论分析626969con澳门玄机验结果都表明:该方法张力控制精度高、易于实现,而且断线故障率低、张力调整方便。机电一体化张力控制的实现为多线切割机走线系统的设计奠定了基础。 针对多电机速度同步系统控制问题,采用机理建模方法,建立了张力电机的运动学数学模型。全面分析了引起多线切割机价格走线系统稳定性各种不确定因素,指出多线切割机同步系统是一个非线性、时变、多输出的复杂系统。

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进一步提高效率、降低成本是硅材料今后发展的趋势,也是产业化的要求。目前在半导体硅材料的加工领域引入了专业多线切割机,它高效的生产能力,诸多的优势,决定了它的发展空间,但如何有效控制硅片应力,这是一个需要迫切解决的问题。从线切割机与内圆切割机相比较出发,着重研究线切割机在生产过程中的应力控制。针对线切割机的工作原理,在切片过程中硅片因机械作用造成的刀痕、损伤、破损会导致产生包括机械应力和热应力在内的应力,进而产生滑移位错,当机械应力和热应力在高温处理过程中的作用超过晶体滑移临界应力时,会产生硅片的破碎。对于翘曲度、弯曲度、总厚度误差、中心厚度误差等方面的质量控制,可以通过调整线张力、进给速度、冷却剂流量等一系列工艺措施来达到目的及要求,它大大降低了生产成本,提高了生产效率。实验证明,河北多线切割机切出的硅片的厚度和质量都很好的满足了下一道工序的要求。

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