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苏州高质量数控精密切割设备供应商

2021-04-21
苏州高质量数控精密切割设备供应商

苏州高质量数控精密切割设备以其效率高、工艺好、成本低的优点将成为半导体材料切割行业的主导设备。但是,多线切割机在加工过程中各电机之间协调同步的复杂性对控制系统提出了很高的要求。现今国内市场的多线切割机还主要依靠进口,国产的多线切割机的控制技术还不完善,因此在高速下对多线切割机的控制系统进行研究时很有意义的。 本文分析了多线切割机的工作原理、组成结构以及工作过程,提出了对机床控制系统的要求。建立了控制系统的运动学和动力学的基础模型,并根据伺服电机的结构原理建立了伺服电机的理论模型。在此基础上,分析现有的速度同步控制方案的问题,设计了一种PID速度同步跟随控制方案,通过对控制系统的仿真,得到了很好的控制效果。 针对多线切割机切割线张力波动过大的问题,不仅在现有设备的基础上改进了速度换向方式和张力张紧方式,而且设计了一套张力反馈控制方案,大大降低了切割线上的张力波动。Z后对多线切割机的控制系统进行了各种扰动分析并进行了样机调试。结果证明控制系统运行良好,显著提高了数控精密切割设备供应商的工作转速和系统稳定性。

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太阳能硅片高质量数控精密切割设备是太阳能光伏产业链硅片生产流程中的关键设备,硅片加工质量的好坏将直接影响到后续的加工效率和成品率。多线切割以其高精度、高效率、低损耗的特点逐渐取代了传统的外圆和内圆切割成为硅棒切割加工的主要方式。多线切割是通过一根钢丝线的高速往复运动把磨料带入硅棒加工区域进行研磨切割,将待切割硅棒一次性同时切割成数百或数千片薄片的新型方法。太阳能硅片多线切割机的张力控制是关系到加工能否顺利进行和加工质量好坏的关键技术。钢丝线在切割过程中不允许断线,否则昂贵的硅棒将报废;钢丝线在切割过程中的抖动幅度和频度直接决定了硅片加工的质量;苏州数控精密切割设备的工艺要求对于同一硅棒加工的不同阶段所要求的钢丝线张力也不相同。

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苏州数控精密切割设备技能是进行脆硬资料(如硅锭等)切开的一种立异性工艺。在该工艺中,切开线被缠绕在一个导向轴上,可以几百个一起进行切割,同时取得几百个切片。多线切割技能工艺可进一步分为两个进程分支,一方面是传统的、已被广泛运用的切割抛光工艺,另一个是新的切割磨削工艺。在切割抛光工艺中运用的是没有涂层的切割线,在切割进程中,把切割线涂上抛光液。切割磨削工艺运用的是附有金刚砂涂层的切割线以切削的方法进行,以达到理想的切割效果,很大的提高出产功率。 高质量数控精密切割设备技能可被用于切割脆硬材料,如硅锭等,此外也可用于切割难切削的材料。

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进一步提高效率、降低成本是硅材料今后发展的趋势,也是产业化的要求。目前在半导体硅材料的加工领域引入了多线切割机,它高效的生产能力,诸多的优势,决定了它的发展空间,但如何有效控制硅片应力,这是一个需要迫切解决的问题。从高质量数控精密切割设备与内圆切割机相比较出发,着重研究了线切割机在生产过程中的应力控制。 针对线切割机的工作原理,在切片过程中硅片因机械作用造成的刀痕、损伤、破损会导致产生包括机械应力和热应力在内的应力,进而产生滑移位错,当机械应力和热应力在高温处理过程中的作用超过晶体滑移临界应力时,会产生硅片的破碎。对于翘曲度、弯曲度、总厚度误差、中心厚度误差等方面的质量控制,可以通过调整线张力、进给速度、冷却剂流量等一系列工艺措施来达到目的及要求,它大大降低了生产成本,提高了生产效率。实验证明苏州数控精密切割设备切出的硅片的厚度和质量都很好的满足了下一道工序的要求。

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在上世纪80年代以前,人们在切割超硬材料的时候一般采用涂有金刚石粉的内圈切割机进行切侧。然而随粉半导体行业的飞速发展,人们对已有的生产效率难以满足,同时由于内圆切侧的材料摄失非常大,在半导体行业成本的摩尔定律作用下,人们对于降低切捌成本、提高效率的要求越来越高。高质量数控精密切割设备因此而逐步发展起来。在2003年以前,多线切剖主要润足于半导体行业的需求,切创技术主要掌握在欧、美、日、台等国家和地区,国内半导体业务以封装业务为主,上游的晶圆切荆技术远远落后于发达国家和地区,相关的设备制造研发也难有进展。高质量数控精密切割设备事业还没有发展起来、

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