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深圳专业数控精密切割设备厂家

2021-05-22
深圳专业数控精密切割设备厂家

随着太阳能电池和大规模集成电路的迅速发展,尤其是集成电路的制作过程中大直径和626969con澳门玄机直径的单晶硅片的广泛应用,传统的硅片加工方法由于加工效率低、表面完整性差、加工半径小以及成本高等缺点已经不能满足如今的需求。深圳专业数控精密切割设备以其加工效率高、切片薄、加工直径大等优点很快脱颖而出,成为了硅片切割市场的主流。由于我国该技术发展滞后,多线切割机床大多依赖于进口,不适应该产业的发展。对于多线切割机床的研制以及该技术的研究,虽然还处于起步阶段,但已经受到广泛重视。下面对基于大尺寸硅片的多线切割原理,分析多线切割技术的材料去除机理;对专业数控精密切割设备的整体刚度进行研究;对游离磨料线锯加工切片的表面粗糙度进行建模和预测,并分析同一切片表面粗糙度的不均匀性。在游离磨料多线切割过程中,研磨液由有机溶液基底和磨粒配比而成,是工件材料去除的直接原因。

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随着国际上对低碳、甚至无碳能源的倡导,世界各国开始积极响应,纷纷涌入光伏发电领域。面对如此迅猛的发展势头,视为核心基片的硅片生产效率已经远远满足不了全球市场的需求,在中国这种紧缺势态尤为严峻。国内市场由于专业数控精密切割设备关键技术的匮乏出现严重的设备紧缺、无法自给;同时高成本一直是钳制我626969con澳门玄机伏发电规模化应用的又一致命禁锢,其中硅片及其切割成本占光伏发电总成本的55%左右。因此为推动我626969con澳门玄机伏产业的大规模发展,应积极研发自主核心深圳数控精密切割设备,实现设备自给自足;同时力争完成硅片的高切割工艺要求,削减与硅片及其制造相关的成本项,降低光伏发电总成本。本文针对这一目标,深入研究多线切割机的技术难点,尤其攻克决定切片质量的控制系统关键问题——走线系统的多轴速度协调同步控制,以精确恒定线锯张力,减小其在加工过程中的波动,从而满足高切割工艺要求,实现高精度、高效率、高质量、低成本的切片生产。

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首先,切割液(peg)的粘度由于在专业数控精密切割设备整个切割过程中, 碳化硅微粉是悬浮在切割液上而通过钢线进行切割的,所以切割液主要起悬浮和冷却的作用。切割液的粘度是碳化硅微粉悬浮的重要保证。只有符合机器要求的切割标准的粘度, 才能在切割的过程中保证碳化硅微粉的均匀悬浮分布以及砂浆稳定地通过砂浆管道随钢线进入切割区。由于带着砂浆的钢线在切割硅料的过程中,会因为摩擦发生高温,所以切割液的粘度又对冷却起着重要作用。如果粘度不达标,就会导致液的流动性差, 不能将温度降下来而造成灼伤片或者出现断线, 因此切割液的粘度又确保了整个深圳数控精密切割设备运转过程的温度控制。

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随着半导体产业的快速发展,深圳专业数控精密切割设备的市场需求不断增大,得到了国家政府部门的高度重视,投入也越来越多。近几年,许多科研机构和一些企业相继立项研究了大直径硅片切割加工关键技术及其相关的工艺与装备,并取得了一些可喜的成果。部分国内公司都基本掌握了多线切割机的关键技术,相继研制出了多种数控多线切割机产品,这对我国切片加工行业以及半导体行业的发展起到了巨大的推动作用。虽然国内研究均有突破,但在设备运行稳定性及切割精度方面都或多或少存在问题。专业数控精密切割设备通过金属丝的高速往复运动来实现工件的切割,其具有成型效率高、成品精度高等优点,但相关技术中的多线切割机的进给系统仅可以实现加工工件沿竖直方向的进给,由此仅可以加工出平面薄片状零件,无法加工出瓦形结构零件。

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