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长沙高质量单晶硅多线切割机厂家

2021-05-27
长沙高质量单晶硅多线切割机厂家

长沙单晶硅多线切割机技能是进行脆硬资料(如硅锭等)切开的一种立异性工艺。在该工艺中,切开线被缠绕在一个导向轴上,可以几百个一起进行切割,同时取得几百个切片。多线切割技能工艺可进一步分为两个进程分支,一方面是传统的、已被广泛运用的切割抛光工艺,另一个是新的切割磨削工艺。在切割抛光工艺中运用的是没有涂层的切割线,在切割进程中,把切割线涂上抛光液。切割磨削工艺运用的是附有金刚砂涂层的切割线以切削的方法进行,以达到理想的切割效果,很大的提高出产功率。 高质量单晶硅多线切割机技能可被用于切割脆硬材料,如硅锭等,此外也可用于切割难切削的材料。

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进一步提高效率、降低成本是硅材料今后发展的趋势,也是产业化的要求。目前在半导体硅材料的加工领域引入了多线切割机,它高效的生产能力,诸多的优势,决定了它的发展空间,但如何有效控制硅片应力,这是一个需要迫切解决的问题。从高质量单晶硅多线切割机与内圆切割机相比较出发,着重研究了线切割机在生产过程中的应力控制。 针对线切割机的工作原理,在切片过程中硅片因机械作用造成的刀痕、损伤、破损会导致产生包括机械应力和热应力在内的应力,进而产生滑移位错,当机械应力和热应力在高温处理过程中的作用超过晶体滑移临界应力时,会产生硅片的破碎。对于翘曲度、弯曲度、总厚度误差、中心厚度误差等方面的质量控制,可以通过调整线张力、进给速度、冷却剂流量等一系列工艺措施来达到目的及要求,它大大降低了生产成本,提高了生产效率。实验证明长沙单晶硅多线切割机切出的硅片的厚度和质量都很好的满足了下一道工序的要求。

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长沙高质量单晶硅多线切割机经过多年的发展已经成熟,但任何事物都不会一劳永逸,今后的发展方向应该是大型、快速、高精度、高效益。(1)、大型是指体积适度加大,质量适度加大、以便一次加工更多材料,增加质量以提高机器稳定度,使晶片加工过程稳定性更好。(2)、切割线行走速度的提高,有利于加快切割速度提高工作效率、带入砂浆速度的加快可以使砂浆配比改变,使其流动性、渗透性、研磨性更好,从而减少碳化硅、碳化硼、金刚石粉的消耗量,降低生产成本,同时砂浆稀释流动加快使冷却效果更好,使砂浆对热交换器的依赖程度减低。(3)、高质量单晶硅多线切割机精度提高使切割线无效磨擦减少,切割线径减小会使加工材料损耗减少,切割晶片的弯曲度、翘曲度、平行度、总厚度公差变好,加工晶片表面损伤层浅,粗糙度小,出片率高。

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多线切割是目前Z非常先进的切片加工技术,其核心技术长期被瑞士,日本等国垄断。传统的高质量单晶硅多线切割机一般采用砂浆切割工艺进行加工,但这种方法生产效率不高、能耗大,同时由于砂浆粘度高导致切屑分离困难,从而造成对环境的污染。为避免这些缺点,近年来出现了另外一种切割工艺----金刚线多线切割工艺。多轴同步控制是多线切割机设备需要攻克的关键问题。传统的单晶硅多线切割机厂家控制系统一般通过模拟量或者脉冲的方式控制,这种方式接线复杂,灵活性差,容易受到电磁干扰。而基于现场总线的伺服系统能很好地提高设备的灵活性、快速性和精确性。

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长沙高质量单晶硅多线切割机是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦,从而达到切割效果。在整个过程中,钢线通过十几个导线轮的引导,在主线辊上形成一张线网,而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给,可将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片,高质量单晶硅多线切割机厂家与其他技术相比有:效率高,产能高,精度高等优点。已逐渐取代了传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割,是目前采用Z广泛的半导体等硬脆材料切割技术。

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