进一步提高效率、降低成本是硅材料今后发展的趋势,也是产业化的要求。目前在半导体硅材料的加工领域引入了多线切割机,它高效的生产能力,诸多的优势,决定了它的发展空间,但如何有效控制硅片应力,这是一个需要迫切解决的问题。从高质量单晶硅多线切割机与内圆切割机相比较出发,着重研究了线切割机在生产过程中的应力控制。 针对线切割机的工作原理,在切片过程中硅片因机械作用造成的刀痕、损伤、破损会导致产生包括机械应力和热应力在内的应力,进而产生滑移位错,当机械应力和热应力在高温处理过程中的作用超过晶体滑移临界应力时,会产生硅片的破碎。对于翘曲度、弯曲度、总厚度误差、中心厚度误差等方面的质量控制,可以通过调整线张力、进给速度、冷却剂流量等一系列工艺措施来达到目的及要求,它大大降低了生产成本,提高了生产效率。实验证明沈阳单晶硅多线切割机切出的硅片的厚度和质量都很好的满足了下一道工序的要求。

分析沈阳单晶硅多线切割机放线系统张力锤的速度调节和张力控制的机械结构原理;针对高速运行时数字PID控制系统存在的问题,提出了一种自适应逆随动控制系统结构,该系统以主电机为参考模型,是由一个系统辨识环节和一个自适应控制器环节构成,引入虚拟模型自适应地调整控制器,使放线电机与主电机具有类似的动态特性;样机的实验结果证明了该系统的可行性;对跟随误差进行了全面的分析并提出了提高控制高质量单晶硅多线切割机精度的方法.

沈阳高质量单晶硅多线切割机在切割加工过程中，断线是不可避免的问题之一，如何降低断线率、及时监测断线信息、减少断线所造成的损耗及设备损伤，是国内外多线切割技术研发人员所关注的焦点，也是技术研发人员们一直想要攻关的重要项目。626969con澳门玄机(中国)有限公司技术研发人员针对这一问题深入实践，反复试验，终于攻克以上技术难题，从而实现多线切割技术的新突破。 新型系列多线切割机创新改进走线系统，8个走线导轮，大大降低了断线率和耗材损耗。新型高质量单晶硅多线切割机具备断线保护系统，通过内置自动感应系统，精准及时地判断出断线信号，断线即可停机，以此保护罗拉免受损伤。此外，智能化的监控系统、精准的伺服电机系统、创新的排线自动感应系统等等，均为预防、监控断线情况提供有力保障。

沈阳高质量单晶硅多线切割机制造技术难度大，其核心技术长期被瑞士、日本等国家的极少数公司所垄断，因而国内使用的多线切割机全部依赖进口．严重制约了我国半导体照明、光伏、集成电路制造等产业的发展。我国每年进口多线切割机约 200 台以上，而且 随着全球光伏产业的不断发展，随着我626969con澳门玄机伏产业振兴计划的不断提升．切片机市场需求将会大幅提高．因而，开发具有自主知识产权的高质量单晶硅多线切割机厂家及装备．己成为突破国外技术封锁和国内产业瓶颈的关键举措。

多线切割是目前Z非常先进的切片加工技术,其核心技术长期被瑞士,日本等国垄断。传统的高质量单晶硅多线切割机一般采用砂浆切割工艺进行加工,但这种方法生产效率不高、能耗大,同时由于砂浆粘度高导致切屑分离困难,从而造成对环境的污染。为避免这些缺点,近年来出现了另外一种切割工艺----金刚线多线切割工艺。多轴同步控制是多线切割机设备需要攻克的关键问题。传统的单晶硅多线切割机厂家控制系统一般通过模拟量或者脉冲的方式控制,这种方式接线复杂,灵活性差,容易受到电磁干扰。而基于现场总线的伺服系统能很好地提高设备的灵活性、快速性和精确性。